Контурни диаграми

Устройствата за измерване на повърхностно съпротивление са автоматизирани системи за събиране, записване, анализиране и представяне на данни за повърхностно съпротивление. Те позволяват измервания в голям брой зони върху пластината, които се използват за записване на нехомогенности в повърхностното съпротивление на пластината на монокристална дифузия, епитаксиални и легирани с йони силициеви слоеве, поликристални силициеви слоеве и метални слоеве.

Такива инсталации предоставят различни опции за измерване на повърхностно съпротивление, например, като:

Данните за контурната диаграма се събират като стандартни набори от 49, 81, 255, 361, 441 или 625 области. Една зона за измерване е разположена в центъра на плочата, а останалите са разположени върху концентрични кръгове на еднакво разстояние една от друга. Разстоянието между кръговете се определя от диаметъра на теста, докато диаметърът на външния кръг е равен на диаметъра на теста.

K

Броят на използваните кръгове зависи от избрания набор от точки за измерване. Броят на кръговете за 49 точки на измерване е 3, за 81 - 4, за 225 - 7 и т.н.

Два параметъра влияят върху изграждането на контурната диаграма.

Контурен интервал, който определя интервала между контурните линии и се изразява като процент от средната стойност.

Критерият за сортиране, използван за изключване от контурната диаграма на всички стойности, които не попадат в интервала, е средната стойност  NSigma, където критерият за сортиране е NSigma.

Дебелата тъмна линия на контурната диаграма (Фиг.1.10) показва средната стойност наRs върху плочата. Знакът "+" показва зоната, където измерената стойностRs превишава средната стойност, всекизнакът “” показва точката, където измерената стойностRs е по-малка от средната стойностRs.

A

автоматизираните системи за измерване на повърхностно съпротивление правят възможно представянето на резултатите от измерването под формата на квазитриизмерни диаграми. Типичен изглед на една от тези диаграми е показан на Фигура 1-11.

Равнината около диаграмата по периметъра показва средната стойност на повърхностното съпротивление на полупроводниковия слой. Областите над и под тази равнина показват стойности на повърхностно съпротивление, които са съответно по-големи и по-малки от средната стойност на повърхностно съпротивление.

Диаграми на разпределение на диаметъра

В този режим данните се измерват, докато преминават през диаметъра на пластината в определена от потребителя посока. 49, 81, 255, 361, 441 или 625 точки за измерване са разположени по диаметъра на равни разстояния една от друга; диаметърът, на който се правят измерванията, се определя от потребителя. Тези точки са разположени на еднакво разстояние една от друга и са на един и същи сегмент от диаметъра, докато от двете страни на центъра на плочата има еднакъв брой точки. Разстоянията между отделните точки на измерване се определят от тестовия диаметър, който се задава от потребителя за всеки тест. Един от параметрите на тази диаграма е ъгълът на преминаване, който определя посоката на преминаване по диаметъра. Този ъгъл показва посоката на преминаване на плочата спрямо горната част на плочата.

---