Метод за откриване на течове с вакуум
Изобретението се отнася до методи за изпитване на вакуумни системи и устройства за херметичност и подобрява точността на локализиране на теча и намалява разходите за енергия. Създайте вакуум в системата за висок вакуум. Газът (въздухът) се нагрява в близост до елементите на вакуумната система или те се обдухват с нагрят газ, което води до увеличаване на проводимостта на канала за теч и промяна на вакуума в системата. Според промяната в показанията на вакуумметъра се прави заключение за на-. течове.
РЕПУБЛИКА (k1)5 6 01 M 3!02
СЛУЖБА НА СССР (ДЪРЖАВЕН ПАТЕНТ НА СССР) ОПИСАНИЕ НА ИЗОБРЕТЕНИЕТО
КЪМ АВТОРСКИ СЕРТИФИКАТ (21 4809772/28 (22 04.04.90 (46: 15 02 93), Bull, V 6 (71 Новосибирско държавно първенство на името на Ленин Комсомол) (72 A, I. Saprykin (56l Weston D. Техника на свръхвисок вакуум. М .: Мир, 19) 88, стр. 318.
Авторско свидетелство на СССР.
N 717592, клас, 6 01 M 3/02, 1977. (54) МЕТОД ЗА ОТКРИВАНЕ НА ТЕЧ ВЪВ ВАКУУМ
Изобретението се отнася до областите на технологията, свързани с получаване на висок вакуум и може да се използва за тестване на вакуумни системи и устройства за, стегнатост.
Известни методи за откриване на течове във вакуумни системи. въз основа на използване на тестов газ или летлива течност.За откриване на теч отделните елементи на вакуумната система се поставят в пластмасова кутия, пълна с тестов газ, или уплътненията и елементите на системата се продухват с тънка струя тестов газ. Като тестов газ се използва, който при замяна на въздуха осигурява максимална промяна в сигнала, регистриран от вакуумметъра. Газът, преминаващ през теча, се записва или от сензор вътре в системата, чиято чувствителност зависи от вида на газа, или с помощта на специални устройства - детектори за течове.
„„ЫХ „„ 1795321 A1 (57) Изобретението се отнася доначини да проверите вакуумните системи и да ги направите херметични и ви позволява да увеличите точността на локализиране на теча и да намалите разходите за енергия.
Създайте вакуум в системата за висок вакуум. Газът се нагрява (въздух> близо до елементите на вакуумната система или се продухва с нагрят газ, което води до увеличаване на проводимостта на канала за теч и промяна на вакуума в системата. Въз основа на промяна в показанията на вакуумметъра се прави заключението, че има теч. Помпата, използвана в системата, е най-близка до предложения метод за откриване на течове във вакуумни системи, който се състои в това, че в камерата с тестваната система се създава вакуум, подава се тестов газ, части от продукта се нагряват и наличието на теч в системата се оценява по промяна в налягането на тестовия газ.
Недостатъкът на този метод е сложността, големите времеви и енергийни разходи, необходими за загряване на отделни участъци от продукта и ниската точност на локализиране на теча, 1795321
Следователно коефициентът на проводимост е;
O =- C S AR, 0 = (kT/2ë m) S hP, 25 където K е константата на Болцман, T е температурата, m е масата на газовата молекула.
Метод за откриване на течове във вакуум, който се състои в това, че се създава вакуум от едната страна на стената на продукта, газ се подава от другата страна, извършва се нагряване и наличието на теч се преценява по промяната на налягането на газа във вакуум, което се различава от lTQ, за да се повиши точността на локализиране на теча и да се намали консумацията на енергия при откриване на течове в системи с висок вакуум,нагряване се подлага на газ, подаван към Iedelium.
Techred M.Morgental Коректор S.Shekmar
Поръчайте 424 Тираж Абонамент
ВНИИПИ на Държавния комитет за изобретения и открития към Държавния комитет за наука и технологии на СССР
113035, Москва, Zh-35, Raushskaya emb., 4/5
Производствено-издателски завод "Патент", Ужгород, улица Гагарина, 101
Целта на изобретението е да подобри точността на локализиране на течове, да опрости и намали консумацията на енергия при откриване на течове във вакуумни системи.
Тази цел се постига с факта, че в известния метод за откриване на течове във вакуумни системи вместо нагряване на отделни възли (секции) на системата се нагрява газ (въздух) в близост до елементите на вакуумната система или те се продухват с нагрят газ (въздух). В действителност, при условия на молекулен поток, газовият поток през канал, чийто диаметър е много по-малък от средния свободен път, е право пропорционален на площта на канала и разликата в налягането LP, където C е коефициентът на проводимост на канала.
Въз основа на уравнението на състоянието и кинетичната теория на газовете, която определя средната скорост и честота на ударите на газовите молекули върху повърхност с единица площ:
m и при равни други условия, проводимостта на канала е пропорционална на T
По този начин повишаването на температурата на атмосферния въздух в близост до отвора или продухването с нагрят газ ще доведе до увеличаване на проводимостта на канала, което ще доведе до промяна на вакуума в системата и показанията на вакуумметъра.
Локализацията на теча се извършва чрез продухване на устройството с тънка струя горещ газ или чрез локално нагряване на въздух в близост до тестваната повърхност или уплътнение, например с помощта на електрически поялник.собствени нагревателни елементи.
Използването на предложения метод прави възможно премахването на нагряването на отделни компоненти на системата, значително опростяване на процедурата. откриване на течове. намаляване на енергийните разходи и подобряване на точността на локализиране на теча,