Beam Tester, Патентна банка
Изобретението се отнася до средства за високо локално вътресхемно управление и измерване на параметри, интегрални схеми, например лазерно сканиране, системи за диагностика с електронен и йонен лъч.
Аналог на изобретението е устройство, състоящо се от система за формиране на сонда с захранване, държач на обект с механизъм за движение, генератор на размах с елементи за отклонение на лъча, преобразувател на информационен сигнал и индикаторен блок.
Недостатъкът на аналога е сложността на диагностицирането на чипове на полупроводникова пластина, преди да бъде отделена. Това обстоятелство се дължи на факта, че прототипът не е оборудван със система за наблюдение и контрол на позиционирането на обекта за управление.
Прототипът има редица недостатъци. Позиционирането на държача на обекта спрямо гредата се извършва механично с помощта на задвижване. Такова позициониране, освен голяма грешка (от порядъка на десети от микрона), се характеризира и с ниска производителност и сложност на дизайна, което изисква използването на сложни и скъпи системи за термична стабилизация и устройства за определяне на грешката на позициониране с обратна връзка като част от прототипа. Като правило като такива сензори се използва лазерен интерферометър. За да се постигне точност на позициониране от порядъка на десети от микрона, прототипът трябва да бъде оборудван с изключително сложно и скъпо електромеханично задвижване, което осигурява такава точност.
Целта на изобретението е да подобри точността на тестера и да опрости неговия дизайн.
Фигура 1 показва блокова схема на тестер на лъч; фигура 2 е блокова схема на специализирано изчислително устройство, което е част от тестера; на фиг. 3 е блокова диаграма на изпълнение на единицата за преобразуване; фигура 4 -блокова схема на изпълнение на контролния блок на устройството за преместване на държача на обекта; фигура 5 и 6 - варианти на блоково сравнение.
Първата версия предвижда традиционното изпълнение на управляващия блок 5, съдържащ генераторите на работни импулси 29, 30, 31, които под действието на външна команда генерират стъпкови импулси за управление на стъпкови двигатели (SM), които движат държача на обекта 3 по три координати. За електрическо съгласуване на стъпкови двигатели и блокове 29-31, на изходите на последните са поставени умножители 26-28. В този случай няма електрическа връзка между блокове 5 и 10 и броят на стъпките на следващото движение се коригира с помощта на VCA 6.
Във втората версия на блок 5, в съответствие с фиг.4, процесорният блок 32 е включен в блок 5. Контролният сигнал за движението на държача на обект 3, влизащ в блока 32, се коригира от сигнала, подаден към него от блок 10, и държачът на обект 3 се премества, като се вземе предвид грешката на позициониране на предишното движение.
Иск
6. Тестерът съгласно претенция 1, характеризиращ се с това, че за да се увеличи лекотата на използване, блокът за управление на задвижващия механизъм на държача на обекта съдържа три усилвателя на мощност, три генератора на работни импулси и блок за корекционен контролер, като един вход на последния е свързан към изхода на блока за сравнение, а вторият към изхода на блока за управление на тестера, другият изход на който е свързан към входа на генератора на работни импулси, два входа на контрола за настройка. ler блок са свързани към входа на генераторите на работни импулси на задвижванията, изходите на генераторите на работни импулси са свързани чрез усилватели на мощност към съответните им задвижвания.
MM4A Предсрочно прекратяване на български патент за изобретениепоради неплащане на таксата за поддържане на патента в сила