Капацитивни акселерометри - Life-Prog
Всички акселерометри включват специален елемент (инерционна маса), чието движение изостава от движението на тялото на сензора. И независимо от дизайна на сензора за ускорение, основната му цел е да регистрира движението на тази маса спрямо тялото на устройството и да го преобразува в пропорционален електрически сигнал. Следователно, друг компонент на капацитивните акселерометри е детектор на изместване, способен да измерва микроскопични амплитуди на вибрационни трептения или линейни ускорения.
Капацитивният метод за преобразуване на преместванията в електрически сигнал е най-доказаният и надежден.
Ориз. 7.5 Капацитивен акселерометър с диференциален изход: А – сечение на преобразувателя; B - изглед отгоре на инерционната маса, поддържана от силициеви мостове.
Структурните елементи на такива сензори са произведени чрез микротехнологии върху силиконова подложка.
Ориз. 7.6 Пиезоелектричен акселерометър.
Пиезокерамиката се използва най-широко като чувствителен елемент на такива сензори. Пиезоелектричният елемент е разположен между тялото на сензора и инерционната маса, която се влияе от инерционната сила.
Пиезоелектричните сензори за микроускорение най-често се изпълняват върху силиций. Тъй като силиконът няма пиезоелектрични свойства, тънък филм от пиезо материал се нанася върху силиконовата конзолна греда при формирането на интегрирания преобразувател. За подобряване на честотните характеристики сигналът се усилва с помощта на вграден в сензора преобразувател на зарядно напрежение.