Плазмен - светещ разряд - Голямата енциклопедия на нефта и газа, статия, страница 4
Плазмен - тлеещ разряд
Съществената разлика между изследваните типове разряди и познатите в литературата [1–5] е, че импулсите се наслагват върху неравновесната плазма на тлеещ разряд с електроди, внимателно охлаждани с течаща вода. Както показва спектроскопско изследване на този вид импулсни разряди, в техните спектри не само няма атомни линии на електродния материал, но и ротационната структура на ивичния спектър е напълно запазена. [46]
Вакуумното йонно отлагане се различава от предишния метод по това, че парите на отложения метал или сплав се йонизират в плазма с тлеещ разряд, в която изпареният материал служи като катод, а субстратът като анод. Отоплението се произвежда по различни методи. В този случай парата се йонизира, йоните се ускоряват от електрическото поле и йонният поток се отлага върху субстрата. [47]
За по-точно управление на процеса на разлагане на силана и, като следствие, на свойствата на получените филми в съвременните инсталации допълнително се създават магнитни и електрически полета в областта на плазмата на тлеещ разряд. [48]
Сборникът представя обзорна информация и резултати от редица експериментални изследвания в областта на образуването на полимерни филми от пари на органични съединения в плазма с тлеещ разряд. Обзорната статия разглежда литературните данни за влиянието на структурата на изходното вещество върху кинетиката на образуване и свойствата на филмите, получени чрез полимеризация в разряд, а също така очертава аспектите на развитието на изследванията в тази област. [49]
Изследван е характерът на процесите, протичащи върху повърхността на еластомери SKF-32, SKN-26 и каучуци на тяхна основа при обработката им в плазма на тлеещ разряд с променлив ток; изследват се свойствата на модифицираните повърхности. [50]
В допълнение към H O2 са известни и висши водородни пероксиди (водородни полиоксиди): H2O4 и H2O4 се получават чрез кондензация при - 195 C на плазма с тлеещ разряд в системи H2 - O2, както и взаимодействие. [51]
За разлика от полимеризацията под действието на химически втвърдители и температура, когато е необходимо наличието на ненаситени връзки или функционални групи в молекулите, за да протичат реакции на полимеризация върху субстрат, това не е необходимо за полимеризация в плазма с тлеещ разряд. При излагане на електрони и йони се образува голямо количество активни частици: свободни радикали, йони, възбудени молекули и атоми, способни да инициират реакции на полимеризация в тънък слой мономер на повърхността. [52]
В [56] е изследван ефектът от разреждане на амоняк с аргон, както и различни смеси от амоняк с пропан, върху кинетиката на образуване и структурата на дифузионните слоеве върху техническо желязо и стомани 40Kh и 38Kh2MYuA в плазма с тлеещ разряд. [53]
При първо приближение, условията на катода в DC тлеещ разряд не се различават много от условията при подобен отрицателен електрод, поставен в плазма, с изключение на това, че вторичните електрони, освободени от катода в случай на тлеещ разряд, играят решаваща роля в поддържането на плазмата на тлеещ разряд. [54]
Трибологичният център на Ивановския държавен университет, който се занимава с решаване на големи изследователски проблеми в областта на трибологията (триене, износване, смазване), въз основа на фундаментални изследвания във физиката, химията и механиката на трибосистемите, разработи технология и изгради инсталация за йонна антифрикционна плазмено-химична обработка на високоскоростни режещи инструменти, което позволява едновременно насищане на обработвания материал с азот, въглерод и йод вплазма с тлеещ разряд - йонна йоднитрокарбюризация. Тази технология, заедно с втвърдяването на материала на инструмента, позволява да се образуват йодсъдържащи структури в неговите повърхностни слоеве, което позволява напълно да се замени използването на стандартни външни смазващи и охлаждащи технологични агенти. [55]
Тлеещият разряд, за разлика от дъговия разряд, се възбужда при по-ниски токове и при налягане под атмосферното налягане (въпреки че могат да се създадат условия за започване на разряда дори при атмосферно налягане) и се характеризира с голямо (няколкостотин волта) катодно напрежение. Плазмата с тлеещ разряд като правило е термично неравновесна, например температурата на електроните в разряда достига десетки хиляди градуси и е с един или два порядъка по-висока от температурата на атомно-йонния газ. Това дава големи предимства при създаването на технологични устройства, тъй като високата термична неравномерност позволява ефективно провеждане на плазмохимични процеси и в същото време няма трудности при термичната защита на разрядния канал и осигуряването на дълъг експлоатационен живот на електродите. [56]
Първото условие е изпълнимо и само, очевидно, неизпълнението на второто условие може да обясни големите остатъчни концентрации на PMC. Полимерните филми, получени в плазма с тлеещ разряд, имат силно развита система от напречни връзки; следователно е вероятно възможността за взаимодействие на радикали при тези условия да е много трудна. [57]
Извършва се чрез поставяне на субстратите в плазма с тлеещ разряд. [58]