Сканиращ електронен микроскоп с вградена йонна колона LYRA 3 FEG от Tescan, a

LYRA 3 FEG е удобна комбинация от електронни и йонни колони в една камера. Фокусираният йонен лъч, като допълнение към полево-емисионния микроскоп, е предназначен за повърхностна модификация.

"Формула 1" в нанотехнологиите

СериятаLYRA е проектирана като универсален инструмент за изследователски и високотехнологични приложения. Удобната комбинация от сканиращ електронен микроскоп с висока разделителна способност и йонна колона с различни добавки открива широки перспективи за използване на системата.

LYRA 3 FEG принадлежи към третото поколение микроскопиTescan, което взема предвид всички резултати от последните 20 години в изследването, разработването и производството на сканиращи електронни микроскопи, аксесоари за SEM и други специализирани продукти.

Бързо, както никога досега

Новото поколение позволява на потребителя да се наслаждава на най-новите постижения на съвременните технологии: най-новата електроника за бързо натрупване и обработка на висококачествени изображения, високоскоростна система за сканиране с компенсация на статични и динамични изкривявания. Най-съвременният дизайн на електронно-оптична колона с уникална технология In-Flight Beam Tracing™ за контрол в реално време и оптимизиране на производителността и параметрите на електронния лъч прави резултатите още по-последователни.

Нов софтуер

Една от основните задачи при разработването на такива системи е създаването на софтуер с интуитивен и приятелски интерфейс за управление, удобен както за начинаещи, така и за опитни потребители.

Сегашното трето поколение микроскопиидва с нов софтуер, който най-добре отговаря на тези изисквания. Вградена система за самодиагностика, автоматична настройка и процедури за оптимизиране на параметрите, за да се гарантира стабилността на системата в избрания режим.

Лесен за научаване вграден език за програмиране ви дава достъп до повечето от софтуера за управление на микроскопа, както и ви позволява да създавате свои собствени процедури за автоматизация.

Новата версия на модула DrawBeam е мощен инструмент за нанолитография.

LYRA 3 модели

LYRA 3 се предлага в две основни версии:

  • модел с висок вакуум (XMH)
  • Модел на вакуум с променлива камера (XMU)

Добавки

За всеки модел се предлага огромна гама от допълнителни добавки и аксесоари:

  • система за газов инжекцион,
  • наноманипулатори,
  • системи за анализ на състава,
  • прекъсвач на лъча,
  • различни софтуерни модули.