Електроразрядна помпа
ОПИСАНИЕ (ii)562®6
републики (61); изд. svnd-vu (22) Заявен на 25.12.73 г. (21) 1979262/25 с приложението на приложението ge (23) Приоритет
Публикувана на 15.06.77 г. Бюлетин М 22
Министерски съвет на СССР (53) UDC 533.582 (088.8) за изобретения и открития (72) Изобретател
В. И. Маханов (71) Заявител (54) ЕЛЕКТРИЧЕСКА РАЗРЯДНА ПОМПА
Изобретението се отнася до електровакуумната технология и може да се използва за получаване и поддържане на висок вакуум в микровълнови устройства с висока мощност по време на техния експлоатационен живот и дългосрочно съхранение.
Има помпи, в които катодите се нагряват, но разпръснатият катоден материал в тези помпи частично попада върху вътрешната повърхност на стъклената колба (чиста зона на разпрашаване), следователно изпомпваният газ се натрупва тук, служейки едновременно като корпус на помпата и катод, разположен коаксиално с него под формата на прът с дискове (2), фиксирани перпендикулярно на оста на помпата.
Недостатъкът на такива помпи, както и подобни електроразрядни помпи с диоден дизайн със студен катод, е високата десорбция на инертни газове.
Целта на настоящото изобретение е да се намали десорбцията на инертни газове.
Тази цел се постига чрез факта, че два успоредни пръта са разположени между катодните дискове, lblx се отстранява от OSB помпата на разстояние не повече от половината от вътрешния радиус на корпуса на анода, а краищата
5прътите от противоположната на проводниците страна са електрически затворени от катодния диск.Чертежът показва общ изглед на предлаганата електроразрядна помпа.
Електрическата газоразрядна помпа съдържа корпус 10, анод 1, изработен от немагнитен материал, като мед или неръждаема стомана, катод, състоящ се от два пръта 2 и два диска 3. Материалът на пръта има високи гетиращи свойства. 11 вход за високо напрежение към
15 към катода и нагряването на прътите се извършва през металокерамичния крак 4, като се използват изводите "а" и "б". За да се увеличи механичната якост, свободният край на катодния възел е прикрепен към тялото на анода 1 с помощта на керамична шайба 5.
За стабилно запалване на разряда прътите 2 се отстраняват от оста на помпата на разстояние не повече от половината от вътрешния радиус на анодното тяло 1.
Анодното тяло 1 има формата на кух цилиндър с вътрешен диаметър 20 mm. Катодните пръти 2 са изработени от титаново-молибденова тел с диаметър 1,1 mm. Разположени са на разстояние 2 мм един от друг.
30 Катодните дискове 3 са изработени от компакт
Титан 5620I6 с диаметър 16 мм и дебелина 2 мм, те са разположени на разстояние 20 мм един от друг.
За да се оцени проявлението на ефекта на паметта, помпата се дегазира при температура 450 С в продължение на 5 часа във вакуум от най-малко 5 10 Torr.
След това към катода се прилага отрицателно напрежение от 3 kV спрямо анодното тяло 1 и променливо напрежение от 1,1 V се прилага към прътите 2 през клемите "a" и "b", докато през тях протича ток от 20 A, а прътите 2 се нагряват до температура от 1100 C. Помпата се поставя в магнитно поле от 1200 oersted, чиито силови линии са насочени по протежение на оста на помпата.
Анодното тяло 1 се охлажда с вода с помощта на подвижен хладилник.
Хелият се инжектира в обема на помпата до налягане от 1,5 10 Torr. При тези условия помпатаизпомпва 2 10л. мк газ. След това отоплението се включва, издухването на хелий се спира и аргонът се издухва в обема на помпата с непрекъснат поток.
Под действието на йонна бомбардировка, евакуираният хелий десорбира в реципиента.
Установено е, че десорбцията на хелия, изпомпван от предложената електроразрядна помпа, е намалена с коефициент 50 в сравнение със случая на известната магнитно-разрядна помпа със студен катод.
Намаляването на десорбцията на предварително изпомпания газ се постига чрез понижаване на концентрацията му в приповърхностния слой на катодните пръти (зона на чисто разпръскване) чрез увеличаване на разпръскването на катодния материал и дифузията на газ в този материал при висока температура, както и чрез понижаване на концентрацията на газ в приповърхностния слой на катодните дискове чрез увеличаване на отлагането на геттерния материал тук.
Предложеният дизайн на електроразрядната помпа има редица предимства, а именно: при работа с горещи пръти скоростта на изпомпване на помпата се увеличава поради увеличаване на сублимацията на катодния материал, което е важно в първите часове на работа на микровълновото устройство, когато отделянето му е високо; след изключване на отоплението на прътите скоростта на изпомпване на помпата е достатъчно висока, тъй като помпата започва да работи като прясно активирана.
Скоростта на изпомпване остава висока за дълго време поради малкото газоотделяне на устройството по време на експлоатационния живот; помпата може да се рестартира.
Електрическа газоразрядна помпа, съдържаща цилиндричен аноден корпус и два катодни диска, перпендикулярни на оста на помпата, характеризираща се с това, че за да се намали десорбцията на инертни газове, два успоредни пръта са разположени между катодните дискове, 25 отстранени от оста на помпата на разстояние не повече от половината от вътрешния радиус на корпуса-възел, и краищата на прътите от страната, противоположна на клемите,електрически затворен от катодния диск.
30 Източници на информация, взети предвид при проверката
1. A. Klopfer и J. Ermrich, à Small Ciietter lop-Pump, Phillips Technicol Review, том 22, номер 8, 1960-19, стр. 260 - 2.
35 2. Авторско свидетелство М 305523, кл. з